Verfahren zum Polieren einer Optischen Oberfläche und Optisches Element

WO2017093020 Art A1 8. Juni 2017

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017093020
Aktenzeichen: EP16798136
Anmeldetag: 16. November 2016
Veröffentlichung: 8. Juni 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08B24B13/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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