Spectrophotometer, method for confirming performance of spectrophotometer, and inspection device for concave diffraction grating

WO2017094048 Art A1 8. Juni 2017

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017094048
Aktenzeichen: EP15909678
Anmeldetag: 30. November 2015
Veröffentlichung: 8. Juni 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01M11/00G01J3/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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