Conveyance device, processing device, conveyance method, and processing method

WO2017094565 Art A1 8. Juni 2017

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017094565
Aktenzeichen: EP16870502
Anmeldetag: 22. November 2016
Veröffentlichung: 8. Juni 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/84B65G47/46H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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