Non-contact thermal measurements of vuv optics
WO2017095787
Art A1
8. Juni 2017
Anmelder: KLA-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017095787
- Aktenzeichen
- EP16871344
- Anmeldetag
- 29. November 2016
- Veröffentlichung
- 8. Juni 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01J5/48G01J5/08G02B27/14
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.