Holding arrangement for holding a substrate during substrate processing in a vacuum processing chamber, carrier for supporting a substrate in a vacuum processing chamber, and method for holding a substrate

WO2017097336 Art A1 15. Juni 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017097336
Aktenzeichen: EP15805206
Anmeldetag: 7. Dezember 2015
Veröffentlichung: 15. Juni 2017
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/50B65G15/42B65G15/58

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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