Beleuchtungssystem einer Mikrolithographischen Projektionsanlage und Verfahren zum Betreiben eines Solchen Systems

WO2017097601 Art A1 15. Juni 2017

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017097601
Aktenzeichen: EP16801222
Anmeldetag: 24. November 2016
Veröffentlichung: 15. Juni 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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