Verschluss- oder Schleusenvorrichtung für eine Vakuumkammer

WO2017097672 Art A1 15. Juni 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017097672
Aktenzeichen: EP16805421
Anmeldetag: 2. Dezember 2016
Veröffentlichung: 15. Juni 2017
Rechtsraum: WO
IPC: F16K51/02F16K31/06F16K31/08F16K3/18F16K37/00F16K1/20F16K1/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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