Cleaning liquid, method for cleaning substrate, and method for manufacturing semiconductor device

WO2017099211 Art A1 15. Juni 2017

Anmelder: Fujifilm Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017099211
Aktenzeichen
EP16873104
Anmeldetag
9. Dezember 2016
Veröffentlichung
15. Juni 2017
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/304C11D7/32C11D17/08
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fujifilm Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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