Cleaning liquid, method for cleaning substrate, and method for manufacturing semiconductor device
WO2017099211
Art A1
15. Juni 2017
Anmelder: Fujifilm Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017099211
- Aktenzeichen
- EP16873104
- Anmeldetag
- 9. Dezember 2016
- Veröffentlichung
- 15. Juni 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/304C11D7/32C11D17/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Fujifilm Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujifilm
Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.
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