System, method and computer program product for fast automatic determination of signals for efficient metrology
WO2017100424
Art A1
15. Juni 2017
Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017100424
- Aktenzeichen
- EP16873832
- Anmeldetag
- 8. Dezember 2016
- Veröffentlichung
- 15. Juni 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G01N21/21G01N21/01
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Kla-Tencor Corporation
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.