Optische Vorrichtung für eine Lithografische Vorrichtung und Lithografische Vorrichtung

WO2017102889 Art A1 22. Juni 2017

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017102889
Aktenzeichen: EP16823189
Anmeldetag: 14. Dezember 2016
Veröffentlichung: 22. Juni 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G02B7/00G02B7/182

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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