Method for manufacturing sapphire substrate, and sapphire substrate
WO2017104443
Art A1
22. Juni 2017
Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017104443
- Aktenzeichen
- EP16875426
- Anmeldetag
- 2. Dezember 2016
- Veröffentlichung
- 22. Juni 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G02B1/113C23C14/48C30B29/20C30B31/22
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ULVAC, Inc.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
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