Method for manufacturing sapphire substrate, and sapphire substrate

WO2017104443 Art A1 22. Juni 2017

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017104443
Aktenzeichen
EP16875426
Anmeldetag
2. Dezember 2016
Veröffentlichung
22. Juni 2017
Rechtsraum
WO
IPC
G02B1/113C23C14/48C30B29/20C30B31/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ULVAC, Inc.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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