Substrate holding device, substrate holding member, and substrate holding method

WO2017104732 Art A1 22. Juni 2017

Anmelder: NGK Spark Plug Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017104732
Aktenzeichen: EP16875709
Anmeldetag: 15. Dezember 2016
Veröffentlichung: 22. Juni 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683B25J15/06G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NGK Spark Plug Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 NGK Spark Plug

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Nagoya, traditionell bekannt für Zündkerzen und Sensoren für die Automobilindustrie sowie Keramikbauteile. Firmiert seit 2023 international unter dem Namen Niterra.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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