Vacuum processing device

WO2017104826 Art A1 22. Juni 2017

Anmelder: ULVAC, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017104826
Aktenzeichen: EP16875800
Anmeldetag: 16. Dezember 2016
Veröffentlichung: 22. Juni 2017
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/56B65G17/00B65G17/32B65G49/06C23C14/34H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ULVAC, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

1.137 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Verpackungs- & Fördertechnik

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