Electrode assembly for dielectric barrier discharge and plasma processing device using the same

WO2017104903 Art A1 22. Juni 2017

Anmelder: Korea Advanced Institute of Science and Technology 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017104903
Aktenzeichen: EP16875845
Anmeldetag: 23. März 2016
Veröffentlichung: 22. Juni 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/24H05H1/46H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Korea Advanced Institute of Science and Technology
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 KAIST

Südkoreanische technische Universität und Forschungsinstitution mit Fokus auf Ingenieurwissenschaften, Naturwissenschaften und Technologieentwicklung, unter anderem in Robotik und Elektronik.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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