Flat susceptor with grooves for minimizing temperature profile across a substrate

WO2017105627 Art A1 22. Juni 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017105627
Aktenzeichen: EP16876230
Anmeldetag: 21. Oktober 2016
Veröffentlichung: 22. Juni 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683H01L21/324H01L21/02H01L21/205H01L21/3065H01L21/687

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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