Lithographic systems and methods

WO2017106145 Art A1 22. Juni 2017

Anmelder: Board of Regents, The University of Texas System 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017106145
Aktenzeichen: EP16876473
Anmeldetag: 13. Dezember 2016
Veröffentlichung: 22. Juni 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03C5/00G01N21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Board of Regents, The University of Texas System
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 University of Texas System

US-amerikanischer Universitätsverbund mit Sitz in Austin, Texas, bestehend aus mehreren Hochschulen und medizinischen Zentren. Der University of Texas System ist in Forschung zu Medizin, Naturwissenschaften, Ingenieurwesen und Biotechnologie aktiv.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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