Vorrichtung und Verfahren zur Wellenfrontanalyse

WO2017108349 Art A1 29. Juni 2017

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017108349
Aktenzeichen: EP16812911
Anmeldetag: 29. November 2016
Veröffentlichung: 29. Juni 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01M11/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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