Pattern formation method, method for manufacturing electronic device, monomer for manufacturing resin for semiconductor device manufacturing process, resin, method for manufacturing resin, actinic-ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, and actinic-ray-sensitive or radiation-sensitive film

WO2017110290 Art A1 29. Juni 2017

Anmelder: Fujifilm Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017110290
Aktenzeichen
EP16878188
Anmeldetag
10. November 2016
Veröffentlichung
29. Juni 2017
Rechtsraum
WO
IPC
C08F30/04G03F7/038G03F7/039G03F7/075G03F7/20G03F7/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fujifilm Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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