Biprism device and charged particle beam device

WO2017110673 Art A1 29. Juni 2017

Anmelder: Riken 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017110673
Aktenzeichen: EP16878562
Anmeldetag: 16. Dezember 2016
Veröffentlichung: 29. Juni 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/295H01J37/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Riken
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 RIKEN

Japanische staatliche Forschungseinrichtung mit Sitz in Wako bei Tokio, aktiv in Physik, Chemie, Biologie und Ingenieurwissenschaften mit zahlreichen Forschungszentren.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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