Oxide-sintered-body sputtering target and manufacturing method therefor

WO2017110909 Art A1 29. Juni 2017

Anmelder: Ulvac, Inc. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017110909
Aktenzeichen: EP16878796
Anmeldetag: 21. Dezember 2016
Veröffentlichung: 29. Juni 2017
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/34C04B35/01

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Ulvac, Inc.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik

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