Online calibration for repetition rate dependent performance variables

WO2017112060 Art A1 29. Juni 2017

Anmelder: Cymer, LLC, ASML Netherlands B.V. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017112060
Aktenzeichen: EP16879563
Anmeldetag: 18. Oktober 2016
Veröffentlichung: 29. Juni 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01J1/42G01J3/28G03F7/20H01S3/13

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Cymer, LLC
ASML Netherlands B.V.
Land: 🇺🇸 USA

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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