Processing liquid, pattern forming method and method for manufacturing electronic device

WO2017115601 Art A1 6. Juli 2017

Anmelder: Fujifilm Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017115601
Aktenzeichen
EP16881581
Anmeldetag
30. November 2016
Veröffentlichung
6. Juli 2017
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/32G03F7/38H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fujifilm Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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