Electrostatic Chucking Of Cover Glass Substrates in A Vacuum Coating Process

WO2017117207 Art A1 6. Juli 2017

Anmelder: Corning Incorporated 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017117207
Aktenzeichen: EP16834155
Anmeldetag: 28. Dezember 2016
Veröffentlichung: 6. Juli 2017
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/50H01L21/683C23C14/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Corning Incorporated
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Corning

US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Corning, New York. Corning ist spezialisiert auf Spezialglas, Keramik und optische Fasern für Displays, Telekommunikation, Automobiltechnik, Life Sciences und Umwelttechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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