Chemical-Mechanical Polishing Machine

WO2017118361 Art A1 13. Juli 2017

Anmelder: Tsinghua University, Hwatsing Technology Co., Ltd. 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017118361
Aktenzeichen: EP17735799
Anmeldetag: 3. Januar 2017
Veröffentlichung: 13. Juli 2017
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/04B24B37/27

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tsinghua University
Hwatsing Technology Co., Ltd.
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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