Ultrasonic displacement sensor and workpiece identification apparatus using same

WO2017119380 Art A1 13. Juli 2017

Anmelder: Tokyo Seimitsu Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017119380
Aktenzeichen
EP16883879
Anmeldetag
28. Dezember 2016
Veröffentlichung
13. Juli 2017
Rechtsraum
WO
IPC
G01B17/00B23Q17/00G01S15/10
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tokyo Seimitsu Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

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