Imaging device and imaging method

WO2017122401 Art A1 20. Juli 2017

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017122401
Aktenzeichen
EP16885004
Anmeldetag
13. Oktober 2016
Veröffentlichung
20. Juli 2017
Rechtsraum
WO
IPC
G01N21/27G01N21/01G01N21/17G02B21/06G02B21/36G03B15/02H04N5/238
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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