Gas supply device capable of measuring flow rate, flowmeter, and flow rate measuring method

WO2017122714 Art A1 20. Juli 2017

Anmelder: Fujikin Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017122714
Aktenzeichen: EP17738468
Anmeldetag: 12. Januar 2017
Veröffentlichung: 20. Juli 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01F25/00G01F17/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujikin Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujikin

Der Anmelder ist ein japanischer Hersteller von Fluidsteuerungs- und Ventiltechnik für die Halbleiterfertigung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Maschinenelemente und Fluidtechnik sowie auf Steuerungs- und Regelungstechnik und Messtechnik. Anmeldungen laufen seit dem Jahr 2000 durchgehend fort.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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