Electrostatic chuck device and method for manufacturing electrostatic chuck device

WO2017122716 Art A1 20. Juli 2017

Anmelder: Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017122716
Aktenzeichen: EP17738470
Anmeldetag: 12. Januar 2017
Veröffentlichung: 20. Juli 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/683C04B35/103

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Sumitomo Osaka Cement Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumitomo Osaka Cement

Sumitomo Osaka Cement ist ein japanisches Unternehmen, das neben klassischer Zementproduktion auch elektronische und optische Materialien für die Halbleiterindustrie herstellt. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch anorganische Chemie und Werkstoffe. Anmeldungen erstrecken sich von 2000 bis 2025.

603 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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