Lithographic Defined 3D Lateral Wiring
WO2017123085
Art A1
20. Juli 2017
Anmelder: Technische Universiteit Delft 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2017123085
- Aktenzeichen
- EP17703481
- Anmeldetag
- 9. Januar 2017
- Veröffentlichung
- 20. Juli 2017
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/60H01L23/48G03F7/16G03F7/09G03F7/20G03F9/00B05D1/00B05D1/02G03F7/30G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Technische Universiteit Delft
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
Technische Universiteit Delft
Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.
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Vertreten von
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