Lithographic Defined 3D Lateral Wiring

WO2017123085 Art A1 20. Juli 2017

Anmelder: Technische Universiteit Delft 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017123085
Aktenzeichen
EP17703481
Anmeldetag
9. Januar 2017
Veröffentlichung
20. Juli 2017
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/60H01L23/48G03F7/16G03F7/09G03F7/20G03F9/00B05D1/00B05D1/02G03F7/30G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Technische Universiteit Delft
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 Technische Universiteit Delft

Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.

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