Euv Element Having Barrier To Hydrogen Transport

WO2017123323 Art A1 20. Juli 2017

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017123323
Aktenzeichen: EP16885401
Anmeldetag: 17. November 2016
Veröffentlichung: 20. Juli 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08G01J3/10G02B5/20H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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