Foreign matter detection device and foreign matter detection method

WO2017126360 Art A1 27. Juli 2017

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017126360
Aktenzeichen: EP17741240
Anmeldetag: 10. Januar 2017
Veröffentlichung: 27. Juli 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01N15/14G01N15/06G01N21/47G01N21/49G01N15/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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