Si-containing film forming compositions for ald/cvd of silicon-containing films

WO2017127044 Art A1 27. Juli 2017

Anmelder: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017127044
Aktenzeichen: EP16886687
Anmeldetag: 18. Januar 2016
Veröffentlichung: 27. Juli 2017
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/36C23C16/455C07F7/02C07F7/10C07F7/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'Air Liquide Société Anonyme pour l'Etude et l'Exploitation des Procédés Georges Claude
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

Vertreten von