Process and chemistry of plating of through silicon vias

WO2017127197 Art A1 27. Juli 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017127197
Aktenzeichen
EP16886790
Anmeldetag
19. Dezember 2016
Veröffentlichung
27. Juli 2017
Rechtsraum
WO
IPC
C25D7/12C23C18/16C23C18/32C23C16/22C23C16/40C23C28/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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