Charged particle beam device and optical axis adjustment method therefor

WO2017130363 Art A1 3. August 2017

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017130363
Aktenzeichen: EP16887950
Anmeldetag: 29. Januar 2016
Veröffentlichung: 3. August 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/04H01J37/09H01J37/147H01J37/21

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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