Smear detection device, laser via processing device, and laser via processing method

WO2017130555 Art A1 3. August 2017

Anmelder: SCREEN Holdings Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017130555
Aktenzeichen: EP16888139
Anmeldetag: 29. November 2016
Veröffentlichung: 3. August 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/88B23K26/00B23K26/386G01N21/17G01N21/55G01N21/64G01N21/956H05K3/00H05K3/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN Holdings Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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