Exposure device and exposure method

WO2017130634 Art A1 3. August 2017

Anmelder: Dexerials Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017130634
Aktenzeichen: EP16888218
Anmeldetag: 28. Dezember 2016
Veröffentlichung: 3. August 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/207G03F7/20H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Dexerials Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Dexerials

Japanischer Hersteller elektronischer Komponenten und optischer Materialien mit Sitz in Tokio, 2012 als Ausgründung aus Sony Chemical hervorgegangen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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