Pattern forming method, electronic device manufacturing method

WO2017130932 Art A1 3. August 2017

Anmelder: Fujifilm Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017130932
Aktenzeichen
EP17744162
Anmeldetag
24. Januar 2017
Veröffentlichung
3. August 2017
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20C08F212/14C08F220/26G03F7/038G03F7/039G03F7/32H01L21/027
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fujifilm Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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