Charged particle detector, charged particle beam device, and mass spectrometer

WO2017130987 Art A1 3. August 2017

Anmelder: Hitachi High-Technologies Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017130987
Aktenzeichen: EP17744217
Anmeldetag: 25. Januar 2017
Veröffentlichung: 3. August 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/244G01T1/202

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Hitachi High-Technologies Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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