Charged particle beam rendering device, charged particle beam rendering system, and rendering data generating method

WO2017131119 Art A1 3. August 2017

Anmelder: Dainippon Printing Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017131119
Aktenzeichen
EP17744349
Anmeldetag
26. Januar 2017
Veröffentlichung
3. August 2017
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/027G03F7/20H01J37/305
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Dainippon Printing Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Dainippon Printing

Dainippon Printing ist ein japanischer Konzern für Druck-, Verpackungs- und Elektroniktechnologien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Druck- und Fertigungstechnik sowie Optik und Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Verpackungs- und Kunststofftechnik. Die Anmeldungen von 2000 bis 2020 betreffen unter anderem Abscheidungsmasken für die Displayfertigung.

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