Integrated lithium deposition with protective layer tool

WO2017131997 Art A1 3. August 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017131997
Aktenzeichen: EP17744686
Anmeldetag: 16. Januar 2017
Veröffentlichung: 3. August 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01M4/133H01M4/1393H01M4/04B32B27/08H01M4/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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