A shadow mask with tapered openings formed by double electroforming using positive/negative photoresists

WO2017132908 Art A1 10. August 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2017132908
Aktenzeichen
EP16888733
Anmeldetag
3. Februar 2016
Veröffentlichung
10. August 2017
Rechtsraum
WO
IPC
C23C14/04H01L51/56
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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