Integrated layer etch system with multiple type chambers

WO2017136093 Art A1 10. August 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017136093
Aktenzeichen: EP17747893
Anmeldetag: 4. Januar 2017
Veröffentlichung: 10. August 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065H01L21/3213H01L21/67H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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