Overlay variance stabilization methods and systems

WO2017136213 Art A1 10. August 2017

Anmelder: Kla-Tencor Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017136213
Aktenzeichen: EP17747940
Anmeldetag: 26. Januar 2017
Veröffentlichung: 10. August 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kla-Tencor Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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