System and method of determining process completion of post heat treatment of a dry etch process

WO2017136306 Art A1 10. August 2017

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017136306
Aktenzeichen: EP17747992
Anmeldetag: 31. Januar 2017
Veröffentlichung: 10. August 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065H01L21/67H01L21/311H01L21/324H05H1/46

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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