Multiphase linear motor, multiphase planar motor, stage, lithographic apparatus and device manufacturing method

WO2017137181 Art A1 17. August 2017

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017137181
Aktenzeichen: EP17700077
Anmeldetag: 5. Januar 2017
Veröffentlichung: 17. August 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H02K41/03H02K3/28H02K29/03H02K7/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik

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