Spiegel für den Euv Spektralbereich

WO2017137216 Art A1 17. August 2017

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017137216
Aktenzeichen: EP17702782
Anmeldetag: 17. Januar 2017
Veröffentlichung: 17. August 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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