Method for obtaining a graphene-based fet, in particular a memory fet, equipped with an embedded dielectric element made by fluorination

WO2017137248 Art A1 17. August 2017

Anmelder: Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S.), CentraleSupélec, Sorbonne Université 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017137248
Aktenzeichen: EP17701144
Anmeldetag: 24. Januar 2017
Veröffentlichung: 17. August 2017
Rechtsraum: WO
IPC: H01L29/423H01L29/66H01L29/778H01L29/16

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Abstract

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Firmen: Centre National de la Recherche Scientifique (C.N.R.S.)
CentraleSupélec
Sorbonne Université
Land: 🇫🇷 Frankreich

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