Method of examining a gas separation quality of a gas separation passage in a vacuum chamber, and vacuum processing apparatus

WO2017140384 Art A1 24. August 2017

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017140384
Aktenzeichen: EP16708369
Anmeldetag: 19. Februar 2016
Veröffentlichung: 24. August 2017
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/56C23C16/44C23C16/54

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

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