Trimming inorganic resists with selected etchant gas mixture and modulation of operating variables

WO2017142708 Art A1 24. August 2017

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017142708
Aktenzeichen: EP17753633
Anmeldetag: 1. Februar 2017
Veröffentlichung: 24. August 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/40H01L21/033H01L21/311

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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