Photo-Sensitized Chemically Amplified Resist (ps-Car) Simulation

WO2017143163 Art A1 24. August 2017

Anmelder: Tokyo Electron Limited, Osaka University 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2017143163
Aktenzeichen: EP17753906
Anmeldetag: 17. Februar 2017
Veröffentlichung: 24. August 2017
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F7/26G03F7/16H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Tokyo Electron Limited
Osaka University
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

🇯🇵 Osaka University

Staatliche Universität in Osaka, Japan, eine der führenden Forschungsuniversitäten des Landes mit Schwerpunkten in Naturwissenschaften, Medizin und Ingenieurwesen.

1.047 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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